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整整三天时间,燧石研究院全体放假,名义是准备迎接精密仪器和机械专项科研计划的成果验收,提前放个假,回来有得忙。
实际上,在赵鸿涛安排人看护住顾松所在的这一大间实验室之后,里面就只有顾松一个人。
赵鸿涛也不知道顾松在里面搞什么,他也不问,只按时给顾松把吃的送过去。
这枚芯片,就纯粹是耗费时间。
啥都得自己动手去操作仪器,光是掩模板的制作,就花了一整天的时间。
顾松休息了一晚养精蓄锐,第二天早上起来正式开工。
曝光的每一步的参数,都是推算好的。光把这些参数设置进去,就花了顾松小半天时间。
在正式开工之前,又花了近两个小时,才匀胶烘好一片合乎要求的8寸晶圆。
将掩模板和晶圆放好,对准又花了将近半个小时,确认一切参数都没问题,顾松才开始按下开始键,等待曝光完成。
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