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嘟!
嘟!
嘟!
随着万宁古的一声令下,光刻室内的报警器闪烁着红光,发出警报,提醒在场的工作人员集中注意力。这一次的光刻模拟实验鸣芯制造公司要投入大量的资金,每一步都要小心谨慎才行。
比如说,光刻掩膜片、光刻胶、电能、中间试剂等损耗品,价格都非常高。这些费用算下来,比真正做一次流片的成本也少不了多少。
故此,万宁古此时的表情非常紧张,目不转睛的盯着第三代光刻机的主控操作界面。随着光刻机激光头和观课工作台的运动,他的嘴角也不由自主的抽抽着,嘴里在念念有词。
“应该没问题!”
“这次一定会成功!”
光刻流片的精度已经超过人类目测的能力范围,工作人员不可能当场就看到激光曝光后的光刻效果。特别是采用FinFET制程技术以后,光刻流片的制程工艺更加复杂,工作人员只能从监视器上看到模拟的光刻过程。
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